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然後將薄膜進行化學或熱顯影：這就是光柵。光柵上的表面是光滑的，但光柵內部的折射率是正弦調變的。為了對VHG進行建模，需要使用高效的Kogelnik理論或嚴格耦合波分析（RCWA）等算法。 圖1（a）所示的SRG，可以通過幾種方法製造，如電子束寫入，光刻，納米壓印，或鑽石車削。與VHG不同，SRG沒有空間變化的折射率。相反，光柵的表面是由周期性的微結構組成的。

本次線上公開課將聚焦TSV的多物理場耦合分析流程，講解基于Ansys Workbench平臺的仿真方案。

中的應用侯忠明 | Ansys 主任應用工程師演講主題：RTL級功耗分析及優化案例分析崔碩岳 | Ansys 技術經理演講主題：業界領先的SOC芯片電源噪聲創新應用-RHSC-SigmaDVD/AV及成功案例成捷 | Ansys 技術經理演講主題：Ansys針對高速數模混合芯片寄生、噪聲及可靠性的完整解決方案趙繼芝 | Ansys